Vakuumpumpstand Halbleiterwerk

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Zentralanlage mit 4 Schrauben-Vakuumpumpen je 460m³/h Vakuumerzeugung für pick&place... more
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Zentralanlage mit 4 Schrauben-Vakuumpumpen je 460m³/h

Vakuumerzeugung für pick&place Anwendungen im Halbleiterwerk

Enddruck bis 5mbar (abs)

Pumpen sind wassergekühlt mit Kühlwasser-Überwachung

Montiert auf Schwingungsgedämpften Skid

Verrohrung mit Ventiltechnik für Vakuumleitung und Abgas

Drop-Out-Tank in Vakuumleitung zum Extrahieren von angesaugten Bauteilen

 

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